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    AXYR 三轴一体式精密电动滑台


    三轴一体式设计:
    ★刚性大、能耗低、运用广、操控容易
    特性:
    ★低载化空间设计、力矩刚性高、滚珠螺杆驱动高寿命
    专利:
    ★具角度调整功能之精密滑台,解决习用传统方式所产生的问题
    应用:
    ★AXYR 三轴一体式精密电动滑台可应用于小型面板生产、手机电子产业生产运用
    商品库存单位(SKU): AXYR60-A2PR-ND
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    更新日期:2020.03.06

     型号AXYR60-A2PR-NDAXYR80-A2PR-NDAXYR120-A2PR-ND
    AXYR60-A2PL-NDAXYR80-A2PL-NDAXYR120-A2PL-ND
    台面尺寸Ø60Ø80Ø120
    移动行程X轴±7.5 mm±12 mm±15 mm
    移动行程Y轴±7.5 mm±12 mm±15 mm
    移动行程θ轴±8.5°±10°
    传动方式丝杆传动
    轨道XY轴交叉滚柱导引式
    轨道θ轴交叉滚柱轴承
    滑台材质/表面处理铝合金 / 黑色阳极处理
    精度等级P: 精密型
    马达方向R: 右侧安装 / L: 左侧安装
    XY轴解析度(脉冲)Full/Half5 μm / 2.5 μm
    θ轴解析度(脉冲)Full/Half0.0056° / 0.0028°0.0047° / 0.0023°0.0034° / 0.0017°
    XY轴最高速度(全步级)10 mm / sec
    θ轴最高速度(全步级)8° / sec
    XY轴单向定位精度10 μm
    XY轴反复定位精度±1 μm
    θ轴单向定位精度0.05°
    θ轴反复定位精度±0.01°
    荷重6 kgf10 kgf25 kgf
    XY轴空转2 μm
    θ轴空转0.01°
    平行度20 μm30 μm
    运动同心度20 μm
    运动平行度10 μm15 μm
    马达类型2MS-N28D32A2MS-N28D45A
    马达厂牌GMT

     

    型号AXYR60-A2UPR-NDAXYR80-A2UPR-NDAXYR120-A2UPR-ND
    AXYR60-A2UPL-NDAXYR80-A2UPL-NDAXYR120-A2UPL-ND
    台面尺寸Ø60Ø80Ø120
    移动行程X轴±7.5 mm±12 mm±15 mm
    移动行程Y轴±7.5 mm±12 mm±15 mm
    移动行程θ轴±8.5°±10°
    传动方式丝杆传动
    轨道XY轴交叉滚柱导引式
    轨道θ轴交叉滚柱轴承
    滑台材质/表面处理铝合金 / 黑色阳极处理
    精度等级UP: 超精密型

    XY轴解析度(脉冲) Full/Half

    2 μm / 1 μm
    θ轴解析度(脉冲) Full/Half0.0022° / 0.0011°0.0019° / 0.0009°0.0013° / 0.0007°
    XY轴最高速度(全步级)5 mm / sec
    θ轴最高速度(全步级)8° / sec
    XY轴单向定位精度5 μm
    XY轴反复定位精度±0.5 μm
    θ轴单向定位精度0.03°
    θ轴反复定位精度±0.003°
    荷重6 kgf10 kgf25 kgf
    XY轴空转1 μm
    θ轴空转0.003°
    平行度20 μm30 μm
    运动同心度20 μm
    运动平行度10 μm15 μm
    马达类型SH5281-7211SH5285-7211SH5285-7211
    马达厂牌SANYO
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