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★滚珠螺杆直结马达,机构单纯,能量损耗少
★直放面设计,减少转接板、垫高块使用
★大型中空设计,客户可灵活自行搭配治具使用
★可搭配光学尺进行闭回路使用
★提供选配件(铝合金面包板)
★高精度
★低振动
★轻量化
★机械限位和电机限位,提供双重保障确保物台安全
★精密型阻尼光学平台,采用精密ZA阻尼隔震器隔震的方式
★台面采用SUS430不锈钢,亚光处理。布有25×25矩阵M6螺纹孔
★采用钢带蜂窝内芯,重量轻、刚性强
★螺纹孔和内芯之间装有隔离杯,保证洁净环境使用安全
★支架采用整体焊接式,刚性强、稳定性好
★配备地脚方便调节地面不平
★标准配置脚轮,方便移动
★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块,搭配一垂直L型固定板,呈现倾斜角度微调的复合功能精密滑台组
★ 单独拆解模块选购型号 - M3E-2000S-L-[XYZ模块-MXYZ60-ACSL]
★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块,搭配一垂直L型固定板,呈现倾斜角度微调的复合功能精密滑台组
★ 单独拆解模块选购型号 - M3E-2000S-R-[XYZ模块-MXYZ60-ACSR]
★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块,搭配一倾斜滑台模块形五轴式的复合功能精密滑台组,适用于单芯对位
★ 单独拆解模块选购型号 - M5E-2000B-L-[XYZ模块-MXYZ60-ACSL、倾斜滑台模块-MTR60-45L]
★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块,搭配一倾斜滑台模块形五轴式的复合功能精密滑台组,适用于单芯对位
★ 单独拆解模块选购型号 - M5E-2000B-R-[XYZ模块-MXYZ60-ACSR、倾斜滑台模块-MTR60-45R]
★精密型阻尼光学平台,采用精密ZA阻尼隔震器隔震的方式
★台面采用SUS430不锈钢,亚光处理。布有25×25矩阵M6螺纹孔
★采用钢带蜂窝内芯,重量轻、刚性强
★螺纹孔和内芯之间装有隔离杯,保证洁净环境使用安全
★支架采用整体焊接式,刚性强、稳定性好
★配备地脚方便调节地面不平
★标准配置脚轮,方便移动
★精密型阻尼光学平台,采用精密ZA阻尼隔震器隔震的方式
★台面采用SUS430不锈钢,亚光处理。布有25×25矩阵M6螺纹孔
★采用钢带蜂窝内芯,重量轻、刚性强
★螺纹孔和内芯之间装有隔离杯,保证洁净环境使用安全
★支架采用整体焊接式,刚性强、稳定性好
★配备地脚方便调节地面不平
★标准配置脚轮,方便移动