光纤数组单元传送端对位耦合设备

功能
‧光纤数组传送端对位耦合
‧光纤数组传送端与光芯片对位耦合
‧光纤数组对位后以UV光固化胶进行固定

主要特点
‧RSSI ADC
‧高精度滑台用于X/Y/Z轴之耦合
‧可在线监测并可将数据上传到数据库

商品库存单位（SKU）: Tx FAU Aligner

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更新日期：2025.04.08

产品说明

工作站特色

工作站	功能	主要特点
光纤数组对位耦合	‧光纤数组传送端对位耦合 ‧光纤数组传送端与光芯片对位耦合 ‧光纤数组对位后以UV光固化胶进行固定	‧RSSI ADC ‧高精度滑台用于X/Y/Z轴之耦合 ‧可在线监测并可将数据上传到数据库

主要设备

设备	关键参数
对位设备	‧X/Y/Z 轴分辨率 10nm ‧X/Y/Z 轴重复定位精度 ±50nm

设备规格

类别	项目	规格参数
设备尺寸及动力	输入电力	220V 50/60Hz
	压缩空气	压缩空气量>2LPM; 供气系统压力0.6MPa~0.7MPa
	真空设备	真空泵保证真空度-80kPa以上
	环境要求	温度: 15-35°C; 相对湿度: 70% @32°C; 无尘室等级: Class 100k
	尺寸要求	1150×1000×1850mm
	设备重量	850-950kg
设备安规	产品安全防御	产品接触接地处理
	ESD防护	离子风机除静电
	软件防护	防呆设计
	设备防护	设备轴程限位+距离感测，防碰撞
	操作员安全防护	护目镜
耦合模块	控制轴数	单6轴
	工件夹持方式	气动夹爪、真空吸嘴固定
	单轴重复定位精度 XYZ驱动形式	±0.05μm 步进电机+螺杆
	θx	手动滑台
	高精度耦合滑台基本参数 θY/θZ	自动滑台重复精度±0.001°
点胶模块	结构形式	XYZ+气缸伸缩顶部供给
	加胶方式	底部点加胶
	点胶机	双点胶机, 武藏高精密点胶机单点式(胶针); 支持3mL, 其他容量可定制
给电方式	Socket连接	自动对位
供料	Lens料盒	单MPO双FA
供料	PCB	单PCB载具气动夹紧
照胶固化UV	UV型号	HOYA EXECURE-4000D
照胶固化UV	控制轴数	3轴XYZ+伸缩气缸
视觉系统	相机数量	2
	视觉辨识	自动对位; 500万画素 CCD; 视野范围 5.6X4.7mm; 分辨率 1.4μm;景深0.3mm
	相机轴数	3轴；XYZ电机+螺杆
耦合工艺	耦合稳定性 (多次耦合差异值)	＜±5%
	自动贴平	自动模块调平
	耦合高度控制	压力测高
	CT	<310 秒/颗(含UV固化时间, 具体根据客户工艺待定)
软件	程序语言	LabVIEW
	资料绑定	可录入生产工单、产品条形码
	储存	生产数据可保存
	程序调用	链接库可同时保存多种型号产品耦合程序，方便随时调用
源表	电源型号	Keysight E3646A (型号将依最后产品规格做调整)
	电压/电流范围	Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A)
	测量分辨率	电压 <0.05%+5mV / 电流 <0.15% + 5mA
光功率计	型号	Santec MPM-220 + MPM-211×2 (型号将依最后产品规格做调整)
光功率计	探头性能	1250-1650nm ，-80至+10dBm

光纤数组单元传送端对位耦合设备

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