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    图片 硅光子晶圆级测试系统

    硅光子晶圆级测试系统


    功能
    ‧SiPh芯片设计验证
    ‧学术及实验室研究
    ‧量产测试及质量控制


    主要特点
    ‧高可靠度奈米等级的对位耦合精度
    ‧半自动化光学耦合与对位测试
    ‧多种测量功能可用于 O-O、O-E、E-O 和 E-E 的设备配置
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