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    光纤数组单元接收端对位耦合设备


    功能
    ‧光纤数组接收端对位耦合
    ‧光纤数组接收端与光侦测器对位耦合
    ‧光纤数组对位后以UV光固化胶进行固定


    主要特点
    ‧RSSI ADC
    ‧高精度滑台用于X/Y/Z轴之耦合
    ‧可在线监测并可将数据上传到数据库
    商品库存单位(SKU): Rx FAU Aligner
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    更新日期:2025.04.08

    产品说明

     

     

    工作站特色

    工作站

    功能

    主要特点

    光纤数组
    对位耦合
    ‧光纤数组接收端对位耦合
    ‧光纤数组接收端与光侦测器对位耦合
    ‧光纤数组对位后以UV光固化胶进行固定
    ‧RSSI ADC
    ‧高精度滑台用于X/Y/Z轴之耦合
    ‧可在线监测并可将数据上传到数据库

     

     

    主要设备

    设备

     关键参数

     对位设备‧X/Y/Z 轴分辨率 10nm
    ‧X/Y/Z 轴重复定位精度 ±50nm

     

     

     

     

    设备规格

    类别

    项目

    规格参数
    设备尺寸及动力输入电力220V 50/60Hz

    压缩空气

    压缩空气量>2LPM; 供气系统压力0.6MPa~0.7MPa
    真空设备真空泵保证真空度-80kPa以上

    环境要求

    温度: 15-35°C; 相对湿度: 70% @32°C; 无尘室等级: Class 100k

    尺寸要求

    1150mm×1000mm×1850mm

    设备重量

    850-950kg
    设备安规

    产品安全防御

    产品接触接地处理

    ESD防护

    离子风机除静电

    软件防护

    防呆设计

    设备防护

    设备轴程限位+距离感测,防碰撞

    操作员安全防护

    护目镜
    耦合模块

    控制轴数

    单6轴

    工件夹持方式

    电动夹爪、真空吸嘴固定

    单轴重复定位精度
    XYZ驱动形式
    ±0.05μm
    步进电机+螺杆
    θx

    手动滑台

    高精度耦合滑台基本参数
    θY/θZ

    自动滑台重复精度±0.001°

    点胶模块

    结构形式

    XYZ+气缸伸缩顶部供给

    加胶方式

    顶部加胶; 支援点, 线

    点胶机

    武藏高精密点胶机单点式(胶针), 容量3mL, 其他容量可定制
    给电方式

    Socket连接

    自动对位

    供料

    Lens料盒

    单MPO双FA

    PCB

    单PCB载具气动夹紧

    照胶固化UVUV型号HOYA波长365nm LED固化镜头x4

    控制轴数

    3轴XYZ+伸缩气缸

    视觉系统 

    相机数量

    2

    视觉辨识

    自动对位; 500万画素 CCD; 视野范围5.6x4.7mm; 分辨率 1.4μm; 景深 0.3mm

    相机轴数

    3轴;XYZ电机+螺杆

     耦合工艺耦合稳定性 (多次耦合差异值)<±5%
    自动贴平

    自动模块调平

    耦合高度控制

    压力测高
    CT< 180 秒/颗(不含UV固化时间, 具体根据客户工艺待定)
    软件  

    程序语言

    LabVIEW

    资料绑定

    可录入生产工单、产品条形码

    储存

    生产数据可保存

    程序调用

    链接库可同时保存多种型号产品耦合程序,方便随时调用
    源表

    电源型号

    Keysight E3646A (型号将依最后产品规格做调整)

    电压/电流范围

    Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A) 

    测量分辨率

    电压 <0.05%+5mV / 电流 <0.15% + 5mA
    光源

    光源型号

    Santec(TSL-570A-P) (型号将依最后产品规格做调整)

    性能

    200 nm/s 快速扫描 
    高精度(± 2 pm) 和分辨率(0.1 pm)
    密封腔确保每个波长的稳定性 
    从1240 到1680 nm 的多种波长选项 
    微调扫描范围10 GHz
    光功率计

    型号

    Santec MPM-220 系列 (型号将依最后产品规格做调整)

    探头性能

    840 - 1700 nm ,-80- +8 dBm可选配