类别 | 项目 | 规格参数 |
| 设备尺寸及动力 | 输入电力 | 220V 50/60Hz |
压缩空气 | 压缩空气量>2LPM; 供气系统压力0.6MPa~0.7MPa |
| 真空设备 | 真空泵保证真空度-80kPa以上 |
环境要求 | 温度: 15-35°C; 相对湿度: 70% @32°C; 无尘室等级: Class 100k |
尺寸要求 | 1150mm×1000mm×1850mm |
设备重量 | 850-950kg |
| 设备安规 | 产品安全防御 | 产品接触接地处理 |
ESD防护 | 离子风机除静电 |
软件防护 | 防呆设计 |
设备防护 | 设备轴程限位+距离感测，防碰撞 |
操作员安全防护 | 护目镜 |
| 耦合模块 | 控制轴数 | 单6轴 |
工件夹持方式 | 电动夹爪、真空吸嘴固定 |
单轴重复定位精度
XYZ驱动形式 | ±0.05μm
步进电机+螺杆 |
| θx | 手动滑台 |
高精度耦合滑台基本参数
θY/θZ | 自动滑台重复精度±0.001° |
| 点胶模块 | 结构形式 | XYZ+气缸伸缩顶部供给 |
加胶方式 | 顶部加胶; 支援点, 线 |
点胶机 | 武藏高精密点胶机单点式(胶针), 容量3mL, 其他容量可定制 |
| 给电方式 | Socket连接 | 自动对位 |
| 供料 | Lens料盒 | 单MPO双FA |
| PCB | 单PCB载具气动夹紧 |
| 照胶固化UV | UV型号 | HOYA波长365nm LED固化镜头x4 |
控制轴数 | 3轴XYZ+伸缩气缸 |
| 视觉系统 | 相机数量 | 2 |
视觉辨识 | 自动对位; 500万画素 CCD; 视野范围5.6x4.7mm; 分辨率 1.4μm; 景深 0.3mm |
相机轴数 | 3轴；XYZ电机+螺杆 |
| 耦合工艺 | 耦合稳定性 (多次耦合差异值) | ＜±5% |
| 自动贴平 | 自动模块调平 |
耦合高度控制 | 压力测高 |
| CT | < 180 秒/颗(不含UV固化时间, 具体根据客户工艺待定） |
软件
| 程序语言 | LabVIEW |
资料绑定 | 可录入生产工单、产品条形码 |
储存 | 生产数据可保存 |
程序调用 | 链接库可同时保存多种型号产品耦合程序，方便随时调用 |
| 源表 | 电源型号 | Keysight E3646A (型号将依最后产品规格做调整) |
电压/电流范围 | Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A) |
测量分辨率 | 电压 <0.05%+5mV / 电流 <0.15% + 5mA |
光源
| 光源型号 | Santec(TSL-570A-P) (型号将依最后产品规格做调整) |
性能 | 200 nm/s 快速扫描
高精度(± 2 pm) 和分辨率(0.1 pm)
密封腔确保每个波长的稳定性
从1240 到1680 nm 的多种波长选项
微调扫描范围10 GHz |
光功率计
| 型号 | Santec MPM-220 系列 (型号将依最后产品规格做调整) |
探头性能 | 840 - 1700 nm ，-80- +8 dBm可选配 |
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