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    史都华平台(GSS-100-D)


    产业应用:
    •  光模块光纤之耦光对位。
    •  矽光子光波导对位。
    •  半导体检测。
    •  高精度电子零组件装配对位。
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    更新日期:2025.04.28

    产品简述:
           并联式六轴运动设计,具有六个自由度来快速执行运动控制命令,来进行精密准确定位与定向移动,适用于高精度应用环境。由于旋转支点位于上平台中心,因此安装夹具或工具之坐标定可快速地由软件来达成设定。

     

    产品特色:
    1.各轴的负载条件一样,可进行快速运动,动态响应特性佳。
    2.并联式平台多轴连动,机械结构对称,不会偏摆,稳定性佳,非常适合高精度的定位运动控制。
    3.上平台的旋转支点容易掌握,工具延伸坐标也可经由软件准确设定,当进行角度控制时,旋转支点不会偏移。

     
    型号

    GSS-100-D

    机构规格

    移动行程X、Y、Z(mm)

    ±16、±16、±6.5

    移动角度θX、θY、θZ( °)±10、±10、±20
    最大移动速度X、Y、Z(mm/s)10、10、10
    最大移动速度θX、θY、θZ(mrad/s)200、200、200
    典型速度X、Y、Z(mm/s)5

     精度规格

    典型速度θX、θY、θZ(mrad/s)100
    致动器最小解析(nm)15
    最小移动量X、Y、Z(um)0.3、0.3、0.2
    最小旋转角度θX、θY、θZ(urad)5、5、10
    重复定位精度X、Y、Z(um)±0.3、±0.3、±0.2
    重复定位精度θX、θY、θZ(urad)±4、±4、±6
    背隙X、Y、Z(um)0.3、0.3、0.2

    负载条件

    背隙θX、θY、θZ(urad)4、4、6
    最大负载,底板处于任意方向(kg)2.5
    最大负载,底板呈水平方向(kg)5
    断电保持力最大负载,底板处于任意方向(N)2
    最大负载,底板呈水平方向(N)12