共同封装光学组件耦合系统

依照实际需求可搭配不同模块与治具，以机器视觉辅助初始化校正，配合多种搜寻算法实现精准快速的对位需求。
◎ 光栅垂直(Grating Coupling)耦合应用
◎ 边缘耦合(Edge Coupling)应用

产品特色
• 影像辅助初始定位校正。
• 运动轨迹包括区域扫描、最大光量搜寻，能进行有效的轨迹差补运算，达成高精度对位的需求。
• 高分辨率马达及光编码器，搭配光量回授，实现实时精准定位运动控制，重现性高。
• 高精度六轴堆栈滑台模块，具备0.1um反复定位精度，符合现阶段业界耦光需求。
• 支持光栅垂直耦合(Grating Coupler)和边缘耦合(Edge Coupler)应用。
• 接口整合机台通信、影像辅助功能、坐标系统管理、运动控制演算、3D数据与影像显示等功能，操作容易、方便导入应用。

商品库存单位（SKU）: cpo-co-packaged-optical-solution-for-photonics-coupling-system

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更新日期：2024.12.25

型号规格	OC1-CXN6075- S2OPAN-MH-P1-10	OC1-CXN6050- S2OPAN-MH-P1-10	OC1-CZLN6050- S2OPAN-MH-P1-10	AXG6-125VMC- 2OPR-MH	AXG6-100VMC- 2OPRB-MH
轴向	X轴(下轴)	Y轴(上轴)	Z 轴	θx、θz	θy (马达右反折)
滚珠螺杆导程	1㎜	1㎜	1㎜	1㎜	1㎜
移动行程	75㎜	50㎜	50㎜	±4°	±5°
机构分辨率 *开回路	5μm(Full) / 2.5μm(Half)	5μm(Full) / 2.5μm(Half)	5μm(Full) / 2.5μm(Half)	0.0022°(Full) / 0.0011°(Half)	0.00275°(Full) / 0.001375°(Half)
最高速度 (全步级)	15㎜/sec	15㎜/sec	20㎜/sec	4.4°/sec	5.4°/sec
单向精度 *透过客户上位机补正	3μm	3μm	3μm	0.03°*开回路检验	0.03°*开回路检验
往复定位精度 *闭回路检验	±0.1μm	±0.1μm	±0.1μm	±0.003°*开回路检验	±0.003°*开回路检验
空转 *闭回路检验	0.1μm	0.1μm	0.1μm	<0.003°*开回路检验	<0.003°*开回路检验
承载荷重 (水平安装)	12Kgf	12Kgf	9Kgf	5Kgf	5Kgf
马达	PK523HPMB(高解析)	PK523HPMB(高解析)	PK523HPMB (高解析)	PK523HPMB(高解析)	PK523HPMB (高解析)
光学标尺格	ATOM系列分辨率：0.05μm	ATOM系列分辨率：0.05μm	ATOM系列分辨率：0.05μm	N/A	N/A

※详细规格内容，请参考官网下载专区型录。

产品特色
• 影像辅助初始定位校正。
• 运动轨迹包括区域扫描、最大光量搜寻，能进行有效的轨迹差补运算，达成高精度对位的需求。
• 高分辨率马达及光编码器，搭配光量回授，实现实时精准定位运动控制，重现性高。
• 高精度六轴堆栈滑台模块，具备0.1um反复定位精度，符合现阶段业界耦光需求。
• 支持光栅垂直耦合(Grating Coupler)和边缘耦合(Edge Coupler)应用。
• 接口整合机台通信、影像辅助功能、坐标系统管理、运动控制演算、3D数据与影像显示等功能，
操作容易、方便导入应用。

共同封装光学组件耦合系统

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