GAS00系列

★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

★ GAS00-200HC：中央支撑模块有方向性限制，若平台需倒吊使用需提前告知，避免支撑模块发生异常

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Update：2023.11.07

型号	GAS00-160LC-PN	GAS00-160LC-UPJ	GAS00-160EC-PN	GAS00-160VC1-PN	GAS00-160VC1-UPJ	GAS00-190EC-PN	GAS00-190EC-UPJ	GAS00-190HC-PN	GAS00-190HC-UPJ	GAS00-200HC-PN	GAS00-200HC-UPJ
工作台尺寸 (mm)	160x160	160x160	160x160	160x160	160x160	190x190	190x190	190x190	190x190	200x200	200x200
基座尺寸 (mm)	170x170	170x170	170x170	170x170	170x170	210x210	210x210	210x210	210x210	210x210	210x210
高度 (mm)	50	50	50	55	55	65	65	65	65	60	60
行程 (mm)	±3x±3	±3x±3	±3x±3	±9x±9	±9x±9	±4x±4	±4x±4	±4x±4	±4x±4	±7x±7	±7x±7
角度 (θ)°	±2°	±2°	±2°	±8.5°	±8.5°	±3°	±3°	±3°	±3°	±3°	±3°
工作台材质	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢	碳钢
表面处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理	表面黑色处理
基座材质	杜拉铝	杜拉铝	杜拉铝	碳钢	碳钢	杜拉铝	杜拉铝	杜拉铝	杜拉铝	杜拉铝	杜拉铝
基座表面处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	表面黑色处理	表面黑色处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理	黑色阳极处理
螺杆规格	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø8-P1	Ø8-P1
动态负载能力 (kgf)	30	30	30	30	30	30	30	30	30	60	60
静态负载能力 (kgf)	60	60	60	120	120	60	60	65	65	130	130
反复定位精度 (μm)	±5	±1	±5	±5	±1	±5	±1	±5	±1	±5	±1
平行度 (μm)	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
马达厂牌	GMT	东方	GMT	GMT	东方	GMT	东方	GMT	东方	GMT	东方
马达类型	2相步进	5相步进	2相步进	2相步进	5相步进	2相步进	5相步进	2相步进	5相步进	2相步进	5相步进
马达出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□28双出轴	□42双出轴	□42双出轴
马达型号	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N42D47 A	PKP544 N18B
驱动器厂牌	请洽业务	东方	请洽业务	请洽业务	东方	请洽业务	东方	请洽业务	东方	请洽业务	东方
驱动器型号	请洽业务	CVD512 -K	请洽业务	请洽业务	CVD512 -K	请洽业务	CVD512 -K	请洽业务	CVD512 -K	请洽业务	CVD518 -K

特性介绍

♦ 采用了划时代性模组结构的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，实现了超薄型结构。

♦ 高刚性、高精度

对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。

♦ 超薄型、轻量化、中空结构

采用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

♦ 润滑系统

在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。

♦ 尺寸齐全适用各种机型运用

工作台面尺寸口160mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。

产业应用介绍

♦ 面板贴合机

♦ 面板贴膜机

♦ 网版及3D网版印刷

♦ 玻璃侧角及磨边设备

♦ Wafe对位设备

♦ P.C.D曝光设备

♦ 软体裁切设备

♦ 半导体设备

GAS00系列

结构说明

动作原理

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