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M5E-2000B-L

M5E-2000B-L

★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块，搭配一倾斜滑台模块形五轴式的复合功能精密滑台组，适用于单芯对位
★ 单独拆解模块选购型号 - M5E-2000B-L-[XYZ模块-MXYZ60-ACSL、倾斜滑台模块-MTR60-45L]

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Update：2022.7.20

型号			M5E-2000B-L
规格说明	轴向		X	Y	Z	θx	θy
	行程	粗调	± 6.5 mm	± 6.5 mm	± 6.5 mm	± 3 °	± 3 °
		微调	± 0.3 mm	± 0.3 mm	± 0.3 mm
	精度	粗调	10 µm	10 µm	10 µm	≒ 29.3" / 刻度	≒ 27.8" / 刻度
		微调	0.5 µm	0.5 µm	0.5 µm

滑台进给位置

滑台轨道特性说明

滑台主要进给方式