Update:2023.11.07
型號
GAS01-250CC-PN
GAS01-250CC-UPJ
GAS01-250RS-PN
GAS01-250RS-UPJ
GAS01-350CC-PN
GAS01-350CC-UPJ
GAS01-350RS-PN
GAS01-350RS-UPJ
工作台尺寸 (mm)
250x250
350x350
基座尺寸 (mm)
高度 (mm)
行程 (mm)
角度 (θ)°
工作台材質
表面處理
基座材質
基座表面處理
螺桿規格
動態負載能力 (kgf)
靜態負載能力 (kgf)
反覆定位精度 (μm)
平行度 (μm)
馬達廠牌
馬達類型
馬達出軸
馬達型號
2MS-
N42D47A
PKP544
N18B
驅動器廠牌
驅動器型號
請洽業務
CVD518-K
♦ 採用了劃时代性模组结構的超薄型平台
在基座、工作台之间的四端平面裝上组合了MINI STAGE XYθ軸滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性,實现了超薄型結構。
♦ 高刚性、高精度
對於構成模组的MINI STAGE XYθ軸滑台组的特殊交叉滚柱施加了預壓,達到高精度、高剛性的結構。
♦ 超薄型、輕量化、中空結構
採用XYθ模组化結構,實現了無中座、薄而輕的機構,可作為光學式檢查裝置或導通測試时使用。
♦ 潤滑系統
在各種運動軌道加入潤滑系统,確保潤滑脂補充,提高對位平台使用的壽命及精度。
♦ 尺寸齊全 適用各種機型運用
工作台面尺寸口160mm~口1500mm,为了可以對應更大的精度荷載,可藉由增加從動模组之數量来達成。
♦ 面板貼合機
♦ 面板貼膜機
♦ 網版及3D網版印刷
♦ 玻璃側角及磨邊設備
♦ Wafe對位設備
♦ P.C.D曝光設備
♦ 軟體裁切設備
♦ 半導體設備