半導體、光通訊解決方案

雷射二極體雙透鏡主動對位耦合設備 Dual LD Lens Active Aligner

功能
‧雙透鏡耦合
‧透鏡與光子積體電路耦合對位
‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化

主要特點
‧傳送端點亮
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合
‧可同步進行雙透鏡的耦合對位
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

光纖陣列單元接收端對位耦合設備 Rx FAU Aligner

功能
‧光纖陣列接收端對位元耦合
‧光纖陣列接收端與光偵測器對位耦合
‧光纖陣列對位元後以UV光固化膠進行固定

主要特點
‧RSSI ADC
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸之耦合
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

矽光子晶圓級測試系統 SiPh Wafer Level Test System

功能
‧SiPh晶片設計驗證
‧學術及實驗室研究
‧量產測試及品質控制

主要特點
‧高可靠度奈米等級的對位耦合精度
‧半自動化光學耦合與對位測試
‧多種測量功能可用於 O-O、O-E、E-O 和 E-E 的設備配置

光纖陣列單元傳送端對位耦合設備 Tx FAU Aligner

功能
‧光纖陣列傳送端對位耦合
‧光纖陣列傳送端與光晶片對位耦合
‧光纖陣列對位後以UV光固化膠進行固定

主要特點
‧RSSI ADC
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸之耦合
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

光纖陣列單元傳送端對位貼合設備(被動元件貼合) Tx FAU Bonder (Passive Bonding)

功能
‧ 高清晰度CCD設備識別
‧ 光纖陣列單元對位後以UV光固化膠貼合

主要特點
‧ 以高精度版本CCD進行 XYZ軸的平面對位動作
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

依照實際需求可搭配不同模組與治具，以機器視覺輔助初始化校正，配合多種搜尋演算法實現精準快速的對位需求。
◎ 光柵垂直(Grating Coupling)耦合應用
◎ 邊緣耦合(Edge Coupling)應用

產品特色
• 影像輔助初始定位校正。
• 運動軌跡包括區域掃描、最大光量搜尋，能進行有效的軌跡差補運算，達成高精度對位的需求。
• 高解析度馬達及光編碼器，搭配光量回授，實現即時精準定位運動控制，重現性高。
• 高精度六軸堆疊滑台模組，具備0.1um反覆定位精度，符合現階段業界耦光需求。
• 支持光柵垂直耦合(Grating Coupler)和邊緣耦合(Edge Coupler)應用。
• 介面整合機台通信、影像輔助功能、座標系統管理、運動控制演算、3D資料與影像顯示等功能，操作容易、方便導入應用。

12軸手動光纖耦合滑台模組

緊湊的機構設計，可達到穩定的高精度，最小分辨率可達0.5㎛。適用在光通訊-光纖器件耦合作業場合。

產品特色
• 專用機構設計。
• 專為光纖耦合作業場域需求所設計。
• 緊湊的堆疊設計，可呈現最佳的剛性。
• 設置有粗調整、微調整的機構。
• 適合實驗室產品實驗、樣品打樣、少量生產。

史都華平台(GSS-100-D)

產業應用：
• 光模塊光纖之耦光對位。
• 矽光子光波導對位。
• 半導體檢測。
• 高精度電子零組件裝配對位。