光纖陣列單元接收端對位耦合設備 Rx FAU Aligner

功能
‧光纖陣列接收端對位元耦合
‧光纖陣列接收端與光偵測器對位耦合
‧光纖陣列對位元後以UV光固化膠進行固定

主要特點
‧RSSI ADC
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸之耦合
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

Sku: Rx FAU Aligner

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更新日期：2025.04.08

產品說明

工作站特色

工作站	功能	主要特點
光纖陣列對位耦合	‧光纖陣列接收端對位耦合 ‧光纖陣列接收端與光偵測器對位耦合 ‧光纖陣列對位後以UV光固化膠進行固定	‧RSSI ADC ‧高精度滑台用於X/Y/Z軸之耦合 ‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

主要設備

設備	關鍵參數
對位設備	‧X/Y/Z 軸解析度 10nm ‧X/Y/Z 軸重複定位精度 ±50nm

設定規範

類別	項目	規格參數
設備尺寸及動力	輸入電力	220V 50/60Hz
	壓縮空氣	壓縮空氣量>2LPM; 供氣系統壓力0.6MPa~0.7MPa
	真空設備	真空泵保證真空度-80kPa以上
	環境要求	溫度: 15-35°C; 相對濕度: 70% @32°C; 無塵室等級: Class 100k
	尺寸要求	1150mm×1000mm×1850mm
	設備重量	850-950kg
設備安規	產品安全防禦	產品接觸接地處理
	ESD防護	離子風機除靜電
	軟件防護	防呆設計
	設備防護	設備軸程限位+距離感測，防碰撞
	操作員安全防護	護目鏡
耦合模組	控制軸數	單6軸
	工件夾持方式	電動夾爪、真空吸嘴固定
	單軸重複定位精度 XYZ驅動形式	±0.05μm 步進電機+螺桿
	θx	手動滑台
	高精度耦合滑台基本參數 θY/θZ	自動滑台重複精度±0.001°
點膠模組	結構形式	XYZ+氣缸伸縮頂部供給
	加膠方式	頂部加膠; 支援點, 線
	點膠機	武藏高精密點膠機單點式(膠針), 容量3mL, 其他容量可定制
給電方式	Socket連接	自動對位
供料	FA Tray	單MPO雙FA
供料	PCB Tray	單PCB載具氣動夾緊
照膠固化UV	UV型號	HOYA波長365nm LED固化鏡頭x4
照膠固化UV	控制軸數	3軸XYZ+伸縮氣缸
視覺系統	相機數量	2
	視覺辨識	自動對位; 500萬畫素 CCD; 視野範圍5.6x4.7mm; 解析度 1.4μm; 景深 0.3mm
	相機軸數	3軸；XYZ電機+螺桿
耦合工藝	耦合穩定性 (多次耦合差異值)	＜±5%
	自動貼平	自動模組調平
	耦合高度控制	壓力測高
	CT	< 180 秒/顆(不含UV固化時間, 具體根據客戶工藝待定）
軟體	程式語言	LabVIEW
	資料綁定	可錄入生產工單、產品條碼
	儲存	生產數據可保存
	程式調用	程式庫可同時保存多種型號産品耦合程序，方便隨時調用
源表	電源型號	Keysight E3646A (型號將依最後產品規格做調整)
	電壓/電流範圍	Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A)
	測量分辨率	電壓 <0.05%+5mV / 電流 <0.15% + 5mA
光源	光源型號	Santec(TSL-570A-P) (型號將依最後產品規格做調整)
光源	性能	200 nm/s 快速掃描高精度(± 2 pm) 和分辨率(0.1 pm) 密封腔確保每個波長的穩定性從1240 到1680 nm 的多種波長選項微調掃描範圍10 GHz
光功率計	型號	Santec MPM-220 系列 (型號將依最後產品規格做調整)
光功率計	探頭性能	840 - 1700 nm ，-80- +8 dBm可選配

光纖陣列單元接收端對位耦合設備 Rx FAU Aligner

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