類別 | 項目 | 規格參數 |
| 設備尺寸及動力 | 輸入電力 | 220V 50/60Hz |
| 壓縮空氣 | 壓縮空氣量>2LPM; 供氣系統壓力0.6MPa~0.7MPa |
| 真空設備 | 真空泵保證真空度-80kPa以上 |
| 環境要求 | 溫度: 15-35°C; 相對濕度: 70% @32°C; 無塵室等級: Class 100k |
| 尺寸要求 | 1150mm×1000mm×1850mm |
| 設備重量 | 850-950kg |
| 設備安規 | 產品安全防禦 | 產品接觸接地處理 |
| ESD防護 | 離子風機除靜電 |
| 軟件防護 | 防呆設計 |
| 設備防護 | 設備軸程限位+距離感測，防碰撞 |
| 操作員安全防護 | 護目鏡 |
| 耦合模組 | 控制軸數 | 單6軸 |
| 工件夾持方式 | 電動夾爪、真空吸嘴固定 |
單軸重複定位精度
XYZ驅動形式 | ±0.05μm
步進電機+螺桿 |
| θx | 手動滑台 |
高精度耦合滑台基本參數
θY/θZ | 自動滑台重複精度±0.001° |
點膠模組
| 結構形式 | XYZ+氣缸伸縮頂部供給 |
| 加膠方式 | 頂部加膠; 支援點, 線 |
| 點膠機 | 武藏高精密點膠機單點式(膠針), 容量3mL, 其他容量可定制 |
給電方式
| Socket連接 | 自動對位 |
| 供料 | FA Tray | 單MPO雙FA |
| PCB Tray | 單PCB載具氣動夾緊 |
| 照膠固化UV | UV型號 | HOYA波長365nm LED固化鏡頭x4 |
| 控制軸數 | 3軸XYZ+伸縮氣缸 |
| 視覺系統 | 相機數量 | 2 |
| 視覺辨識 | 自動對位; 500萬畫素 CCD; 視野範圍5.6x4.7mm; 解析度 1.4μm; 景深 0.3mm |
| 相機軸數 | 3軸；XYZ電機+螺桿 |
| 耦合工藝 | 耦合穩定性 (多次耦合差異值) | ＜±5% |
| 自動貼平 | 自動模組調平 |
| 耦合高度控制 | 壓力測高 |
| CT | < 180 秒/顆(不含UV固化時間, 具體根據客戶工藝待定） |
軟體
| 程式語言 | LabVIEW |
| 資料綁定 | 可錄入生產工單、產品條碼 |
| 儲存 | 生產數據可保存 |
| 程式調用 | 程式庫可同時保存多種型號産品耦合程序，方便隨時調用 |
源表
| 電源型號 | Keysight E3646A (型號將依最後產品規格做調整) |
| 電壓/電流範圍 | Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A) |
| 測量分辨率 | 電壓 <0.05%+5mV / 電流 <0.15% + 5mA |
光源
| 光源型號 | Santec(TSL-570A-P) (型號將依最後產品規格做調整) |
| 性能 | 200 nm/s 快速掃描
高精度(± 2 pm) 和分辨率(0.1 pm)
密封腔確保每個波長的穩定性
從1240 到1680 nm 的多種波長選項
微調掃描範圍10 GHz |
光功率計
| 型號 | Santec MPM-220 系列 (型號將依最後產品規格做調整) |
| 探頭性能 | 840 - 1700 nm ，-80- +8 dBm可選配 |
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