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圖片 XYZT四軸運動模組

XYZT四軸運動模組

爭取評論頭條

• 針對半導體晶圓加工&檢測所設計的專用方案。
• 採用直驅馬達作為直接動力源，搭配高剛性交叉滾柱導軌。
•使模組具備奈米級的穩態誤差及高速運動的能力。
• 模組化的設計，能依據客戶需求，做彈性的多樣式配置。
• 廣泛應用於光通訊、半導體精密檢測、視覺檢測、微型工程等領域，為客戶提供高精度運動部件的方案。

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機型	GNTXYZT-200-200-5-30-0000			GNTXYZT-300-300-10-360-0000
軸向	XY軸	Z軸	T軸	XY軸	Z軸	T軸
負載	5 Kg			8 kg
行程	200 x 200 mm	5 mm	± 15°	300 x 300 mm	10 mm	360°
定位精度/轉角精度	± 0.35 µm	± 0.25 µm	± 2.5 arc-sec	± 0.55 µm	± 0.35 µm	± 2.5 arc-sec
重複精度	± 0.2 µm	± 0.15 µm	± 1.5 arc-sec	± 0.2 µm	± 0.2 µm	± 1.5 arc-sec
單軸直線度	± 1.5 µm	± 1 µm	--	± 2.5 µm	± 2.5 µm	--
平面度	± 1.5 µm	± 1.5 µm	--	± 2.5 µm	--	--
正交度	15 arc-sec	--	--	15 arc-sec	--	--
連續推力/連續力矩	48.8 N	24.4 N	3 N	163.6 N	23 N	10 N
瞬時推力/瞬時力矩	340 N	170 N	10 N	1013.2 N	170 N	30 N
最大速度	800 mm/s	75 mm/s	400 rpm	800 mm/s	5 mm/s	400 rpm
最大加速度	1 g	0.7 g	450 rad/s^2	1.5 g	0.7 g	450 rad/s^2
連續電流	4.4 Arms	2.2 Arms	2.3 Arms	6.24 Arms	2.2 Arms	3 Arms
瞬時電流	30.7 Arms	15.351 Arms	6.5 Arms	38.6 Arms	15.351 Arms	18 Arms
電阻	2.6 ohm	5.2 ohm	4.4 ohm	2.4 ohm	5.2 ohm	5 ohm
電感	0.35 H	0.7 mH	5.8 mH	0.665 H	0.7 mH	10.5 mH
模組重量	35 Kg			83 Kg
光學尺類別	增量,類比	增量,類比	增量,類比	增量,類比	增量,類比	增量,類比