★此圖片為SAX100-75-A2OPL產品圖
Update:2024.5.20
機
械
規
精
度
電
氣
*1產品標準接頭型式為D-SUB、HRS*2接頭的出線長度約26cm
♦ 精度量測說明
1. 單向定位精度: 在預定檢測的行程範圍內,由一起始位置開始,向一定方向順序做移動定位,檢測其實際移動值與目標移動值之間的差值,並取其最大誤差值,此值即為單向定位精度。2. 多點反復定位精度: 預定檢測的行程範圍內,在機械程式執行時,反覆運行同一程序代碼所得到的位置精度。計算反覆來回相同位置時,所產生的位置偏差,並取的兩者間的偏差值。
♦ 精度介紹說明
1. 已符合光纖耦合、半導體製程之輕度需求而設計GMT高階精度檢測方式。
2. GMT高階精密直線滑台模組系列的檢測採多點反復量測方式,即在固定行程範圍內做多點數量測取點(點數多寡依行程長短做增減),並記錄往返位置誤差實際變化,追求高精度重現性。
3. 透過非接觸式的雷射干涉儀量測,確保單向定位在10μm內、多點反復定位精度在1.5μm內。另有更高精度需求請與區域經銷/業務團隊洽詢。
系統構成示意圖
♦ 連接線之詳細規格請參閱滑台與連接線說明。
♦ 驅動器之選用建議請參閱馬達/驅動器對照表,或參閱GMT馬達及驅動器目錄之驅動器建議選用。
♦ 驅動器為GMT所選的最佳搭配之常備品!若另有不同需求,請依實際所需功能自行選用適合的驅動器。
關於移動軸、轉動軸名稱的定義,GMT公司作如下圖的定義:
水準方向為X、Y軸;垂直方向為Z軸;繞X、Y、Z軸的轉動分別記作α軸、β軸、θ軸。
綠色指向標記,為該產品之運動軸向。
兩相步進馬達/驅動器 對照表
步進馬達/驅動器 建議替代搭載對照表