雷射二極體雙透鏡主動對位耦合設備 Dual LD Lens Active Aligner

功能
‧雙透鏡耦合
‧透鏡與光子積體電路耦合對位
‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化

主要特點
‧傳送端點亮
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合
‧可同步進行雙透鏡的耦合對位
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

Sku: Dual LD Lens Active Aligner

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更新日期：2025.04.08

產品說明

工作站特色

工作站	功能	主要特點
透鏡耦合對位	‧雙透鏡耦合 ‧透鏡與光子積體電路耦合對位 ‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化	‧傳送端點亮 ‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合 ‧可同步進行雙透鏡的耦合對位 ‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫

主要設備

設備	關鍵參數
對位設備	‧X/Y/Z 軸解析度 10nm ‧X/Y/Z 軸重複定位精度 ±50nm

設定規範

類別	項目	規格參數
設備尺寸及動力	輸入電力	220V 50/60Hz
	壓縮空氣	壓縮空氣量>2LPM; 供氣系統壓力0.6MPa~0.7MPa
	真空設備	真空泵保證真空度-80kPa以上
	環境要求	溫度: 15-35°C; 相對濕度: 70% @32°C; 無塵室等級: Class 100k
	尺寸要求	1200mm×1000mm×2000mm
	設備重量	1100-1250kg
設備安規	產品安全防禦	產品接觸接地處理
	ESD防護	離子風機除靜電
	軟件防護	防呆設計
	設備防護	設備軸程限位+距離感測，防碰撞
	操作員安全防護	護目鏡
耦合模組	控制軸數	雙6軸
	工件夾持方式	電動夾爪、真空吸嘴固定
	單軸重複定位精度 XYZ驅動形式	±0.05μm 步進電機+螺桿
	θx	手動滑台
	高精度耦合滑台基本參數 θY/θZ	自動滑台重複精度±0.001°
點膠模組	結構形式	氣缸伸縮底部供給（XY手動滑台固定位置）
	加膠方式	底部點加膠
	點膠機	雙點膠機, 武藏高精密點膠機單點式(膠針); 支持3mL, 其他容量可定制
給電方式	Socket連接	自動對位
供料	Lens料盒	32pc雙Lens料盒
供料	PCB	單PCB載具氣動夾緊
照膠固化UV	UV型號	HOYA波長365nm LED固化鏡頭x4
照膠固化UV	控制軸數	6軸集成在於左側耦合軸
視覺系統	相機數量	2
	視覺辨識	自動對位; 500萬畫素 CCD; 視野範圍5.6x4.7mm; 解析度 1.4μm; 景深 0.3mm
	相機軸數	3軸；XYZ電機+螺桿
耦合工藝	耦合穩定性 (多次耦合差異值)	＜±5%
	自動貼平	自動模組調平
	耦合高度控制	壓力測高
	CT	< 200 sec/channel（具體根據客戶工藝待定）
軟體	程式語言	LabVIEW
	資料綁定	可錄入生產工單、產品條碼
	儲存	生產數據可保存
	程式調用	程式庫可同時保存多種型號産品耦合程序，方便隨時調用
源表	電源型號	Keysight E3646A (型號將依最後產品規格做調整)
	電壓/電流範圍	Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A)
	測量分辨率	電壓 <0.05%+5mV / 電流 <0.15% + 5mA

雷射二極體雙透鏡主動對位耦合設備 Dual LD Lens Active Aligner

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